Z軸測量顯微鏡|現貨|價格|參數|產品詳情

特點: 以影像法為測量原理, 采用光學焦點位置檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表面狀態,對高度,深度,高低差等進行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，偏光的觀察功能。所以對極細微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細微劃痕進行觀察。

產品用途：適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS篷房、激光加工、晶片測試、半導體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導線框架等產品的檢查觀察.也適用于經過磨拋、化學處理的工件表面的金相組織結構，幾何形狀進行顯微觀測。并且有三維的計量功能，其解析率達0.0005mm。因此是精密零件，集成電路，半導體芯片，光伏電池，光學材料等行業的必用儀器。

    2.1  鏡筒：鉸鏈式三目頭部   30°傾斜   270°旋轉

    2.2  高眼點平場目鏡: WF10X/22

    2.3  超長物距平場物鏡：PLL5X/0.12  WD 26.1， PLL10X/0.25 WD 20.2， PLL20X/0.40  WD 8.80， PLL50X/0.7  WD 3.68。

    2.4  右傾式內定位5孔轉換器

    2.5  落射式照明系統： 鹵素燈12V30W， 內置孔徑光闌，五孔轉盤濾色裝置（黃、綠、藍、磨砂）推拉式檢偏器和起偏器。

    2.6  調焦結構：粗微動同軸調焦, 帶鎖緊和限位裝置  粗動升降范圍30mm  微動格值  0.001mm*100格  數顯解析值 0.0005mm。

    2.7  光源：鹵素燈 亮度可調  6V30W（BD：12V50W）

    2.8  普通透射照明：可選

    2.9  Z軸升降范圍：手輪轉動130mm  允許*高工件 130mm

    X軸移動范圍  200mm  解析率：0.001mm  可解鎖手動快進

    Y 軸移動范圍  100mm  解析率：0.001mm  可解鎖手動快進

    測量精度（3+L/100）mm  (L: 被測長度)

    落射光測量誤差≤0.08% 

   3.0工作臺尺寸: 360mm*250mm   玻璃板尺寸: 225mm *175mm   工作臺承重: 30kg 

     3.1 儀器外型尺寸：380mm*550mm*830mm 

     3.2 凈重：100kg  毛重：120kg